设备及服务

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光刻

申请验证（演示实验室）

定制纳米图案

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PhableR

光学图案的研发和小批量生产

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PhableX

光学图案的工业生产型光刻系统

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PhableS

光学图案工业生产用步进重复光刻系统

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EUV 光栅

我们提供的EUV透射衍射光栅制备在硅和氮化硅薄膜上

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电子束曝光服务

EULITHA采用先进的电子束光刻系统制作纳米结构

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标准纳米压印模板

用于制造纳米压印模板和其他研发项目的一维标准线结构和二维周期性纳米结构

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